

石墨坩埚的制作工艺

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石墨坩埚的制作工艺主要包括以下步骤:
原料选择与准备:
主体原料为结晶形天然石墨,具有良好的热导性和耐高温性。
可塑性耐火粘土作为粘结剂,与不同类型熟料配合。
成型方法:
冷等静压成型法:这是最先进的制造方法,制造压强为600MPa,使得产物内部组织均匀无缺陷,强度高。同时,坩埚壁较薄,导热性好,能耗低。
切削成型:部分国产石墨坩埚采用此方法,然后进行烧结。但这种方法由于压力小,可能存在组织缺陷。
烧结过程:
预热和烘烤阶段:窑温为100℃至300℃,主要用于去除石墨坩埚中的残余水分。加热速度应缓慢,以防坩埚裂纹和爆炸事故。
低温烧成阶段:温度升至400℃至600℃,坩埚中的束缚水开始分解和去除。
中温烧成阶段:温度升至700℃至900℃,粘土中的非晶态A1203部分转变为Y型晶体Al203,石墨和熟料连接并凝固。同时,坩埚外釉层逐渐熔化,形成一层玻璃釉膜,保护坩埚不被氧化。
高温烧成阶段:温度升至1000℃至1200℃,粘土经中温烧结形成固化后,逐步向莫来石转化。此期间升温速度应加快,窑中火焰应控制为中性焰或还原焰。
后续处理:
石墨坩埚加热后不可立刻置于冷的金属桌面上,以避免因急剧冷却而破裂。
部分石墨坩埚可能还需要进行表面处理,如加涂抗氧化涂料,以提高其耐腐蚀性能和使用寿命。
综上所述,石墨坩埚的制作工艺涉及原料选择、成型方法、烧结过程以及后续处理等多个环节。其中,冷等静压成型法是目前最先进的制造方法,能够生产出高质量的石墨坩埚。
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